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半導體手套箱多重優(yōu)惠
2021-06-18






結構原理

手套箱結構原理

主要由主箱體、過渡室兩部分組成。如用戶有其它特殊要求,也可以根據(jù)需要進行設計制造。

主箱體上有兩個(或兩個以上)手套操作接口,分布在箱體的前邊(或前后兩邊),這使得本操作箱能被一個(或幾個)人同時操作,提高了箱體的使用效率。另外,在箱體的前面(或前后)都有觀察窗,操作者能夠清楚地觀察到箱體內的操作過程,使得操作過程直觀地展現(xiàn)在操作者的眼前。過渡室的閥門上有抽氣與充氣接嘴,在需要抽氣或充氣時可由此接入。主箱體上也安裝有閥門和接嘴,用戶在需要維持氣壓平衡而對主箱體放氣或充氣時可以使用(手套口之間的三通閥必要時也可以用來放氣)。主箱體的前觀察窗上方安裝了照明日光燈。設備的使用方法是否正確,調試期間箱體里面不能放過多的樣品,如需放入,建議經(jīng)過干燥處理。

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手套箱故障分析

一、水、氧含量過高

1. 設備的使用方法是否正確,調試期間箱體里面不能放過多的樣品,如需放入,建議經(jīng)過干燥處理;

2. 箱體的密閉性,包括大、小艙的使用以及手套是否在不正確的使用下造成漏氣;

3. 溫度對水含量有一定的影響,溫度過高水含量下降較慢;

4. 活性炭的烘烤不徹底也會對水造成一定的影響;

5. 再生效果是否正常,重點檢查凈化柱再生過程中的抽真空環(huán)節(jié),抽真空要保持2小時以上。

二、氧含量循環(huán)時緩慢上升

1. 箱體到風機進氣口之間有微量泄漏,通過分段保壓法,排除問題;

2. 波紋管可能泄漏;

3. 接頭可能泄漏;

4. 凈化柱或溶劑柱可能泄漏。






手套箱操作前的工作

1、檢查氮氣瓶里是否有氮氣,氮氣要及時更換,氮氣的輸出壓力設定為0.5mpa。

2、檢查真空泵是否正常開啟。

3、檢查手套箱內循環(huán)是否打開。(凈化柱-I或凈化柱-II要打開其中的一個)

4、檢查設定里的上限壓力應為+1,下限壓力為0

5、檢查氧和露1點是否正常(氧為0.1ppm以下,露1點-40以上)

6、過度艙真空泵應處于常開狀態(tài)








手套箱常見故障及解決辦

1、水氧含量大于200ppm

原因:新箱調試或誤操作。

辦法:停止循環(huán),開啟清洗,清洗至100ppm以下,開啟循環(huán)。

2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4MPa或主閥信號故障

原因:氣源壓力不足。

辦法:換氣瓶,增大壓力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕顯示“Pump Switch Off”

原因:真空泵阻力過大,造成跳閘。

辦法:維修真空泵后,打開電柜,合上跳閘開關。








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